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260万！清华大学显微镜采购项目

dahua1981

2022.08.24 点击0次

TA的动态

导读：潜在投标人应在登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年09月15日 10点30分（北京时间）前递交投标文件。

项目编号：清设招第2022239号

项目名称：清华大学显微镜

预算金额：260.0000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

名称

数量

是否允许进口产品投标

01

显微镜

5套

是

设备用途介绍 ：本次采购的显微镜将用于PECVD与PVD成膜质量、缺陷检测；刻蚀后微观结构检测（AEI检测）；光刻显影后图形检查与线条检测，去胶后残胶检测；芯片封装的不良状况无损分析失效分析；用于各工艺微观结构关键尺寸测量。

简要技术指标 ：

  1. 显微镜镜体：能完成8英寸晶圆及更小尺寸晶圆的外观检测任务；

  2. 具备8英寸载物台（holder），显微镜原厂手动载物台，手动载物台X行程≥205mm，Y行程≥205mm；

  3. 五个平场半复消色差干系物镜5x、10x、20x、50x、100x。


合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内

本项目( 不接受  )联合体投标。


来源于：中国政府采购网

显微镜

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项目编号：清设招第2022239号

项目名称：清华大学显微镜

预算金额：260.0000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

名称

数量

是否允许进口产品投标

01

显微镜

5套

是

设备用途介绍 ：本次采购的显微镜将用于PECVD与PVD成膜质量、缺陷检测；刻蚀后微观结构检测（AEI检测）；光刻显影后图形检查与线条检测，去胶后残胶检测；芯片封装的不良状况无损分析失效分析；用于各工艺微观结构关键尺寸测量。

简要技术指标 ：

  1. 显微镜镜体：能完成8英寸晶圆及更小尺寸晶圆的外观检测任务；

  2. 具备8英寸载物台（holder），显微镜原厂手动载物台，手动载物台X行程≥205mm，Y行程≥205mm；

  3. 五个平场半复消色差干系物镜5x、10x、20x、50x、100x。


合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内

本项目( 不接受  )联合体投标。