国内最大半导体专用气体纯化设备研发生产基地于大连开工

近日，大连华邦研发生产基地在大连高新区正式开工建设。该项目将建设成为全国最大的半导体专用设备-气体纯化设备研发生产基地，进一步解决气体纯化技术“卡脖子”问题，为国内芯片制造产业保驾护航。

据介绍，大连高新区今年以来围绕国家自主创新示范区建设，不断推动区域产业升级，加快科技创新，加快推进原创性、引领性科技攻关，谋划推动更多科技成果产业化项目落地建设。华邦化学是国内气体纯化设备的龙头企业，由中科院大连化学物理研究所专家联合创办，先后获评国家专精特新“小巨人”企业、高新技术企业、辽宁省瞪羚企业。新建项目紧紧围绕集成电路产业链布局，将进一步打破国际垄断，扩大国内市场领军优势，开拓海外市场，助力我国半导体产业健康发展。

开工奠基仪式（央广网发 马晓龙 摄）

“企业不断发展壮大离不开大连高新区一流的营商环境，得益于大连高新区党工委、管委会的大力支持。” 华邦化学总经理侯鹏表示，作为行业龙头企业，公司于2013年在大连高新区成立，目前已具备国际一流技术水平，填补了半导体生产关键设备的国内空白，被列入大连市重点拟上市企业名录。随着项目建成投产，公司多年来针对半导体配套产业的诸多前瞻性科研成果将进一步加速转化。

记者在开工仪式现场了解到，华邦化学研发生产基地总投资1亿元，占地面积1.25万平方米。项目建成后，将成为国内最大的集成电路专用设备-气体纯化设备生产研发基地，年产值可达到3亿元。该项目开工建设对于加快高新区产业结构调整、提高区域科技创新水平、推进大连市集成电路装备及材料产业集群建设将起到积极的促进作用。随着华邦化学研发生产基地开工建设，大连高新区重点项目建设进一步提质增速，目前，围绕英歌石科学城“1+X”科研方向，大连高新区启动了黄泥川半导体电子产业园、大华新材料创新中心、光芯片与高端光器件产业化项目等67个重点项目，总投资72亿元，四季度新开工项目达25个。