170万！上海交通大学原子力显微镜采购项目

项目编号：0773-2241SHHW0172/16；校内编号：招设2022A00189

项目名称：上海交通大学原子力显微镜

预算金额：170.0000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：170.0000000 万元（人民币）

采购需求：

设备名称： 原子力显微镜
数量：1套
简要技术参数：1.1 XYZ三轴闭环扫描器：XY方向扫描范围≥90微米；Z方向扫描范围≥10微米；扫描器Z方向实际测试噪声水平：闭环控制下，<0.035 nm （RMS）；XY方向实际测试噪声水平：闭环控制下，≤0.15nm （RMS）；其余详见“第八章货物需求一览表及技术规格”。
设备用途：在半导体加工领域，可以检测基片表面抛光缺陷、图形化结构、薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度数据和深度信息，也可用于材料表面高分辨成像，如：粗糙度、三维形等信息，同时可获得材料表面物理性质分布差异，如：摩擦力、阻抗分布、电势分布、介电常数、压电特性、磁学性质等
交货期：合同签订后 24周以内。
交付地点：上海交通大学用户指定地点。

合同履行期限：合同签订后24周以内

本项目( 不接受  )联合体投标。