高性能、低成本、智能化破解国产半导体量检测设备崛起之道——访东方晶源创新技术研究院院长孙伟强

2024年3月20日至22日，备受瞩目的SEMICON China 2024在上海新国际博览中心隆重举行。作为全球规模最大、规格最高的半导体行业盛会，此次展会吸引了众多顶尖企业的参与。作为国内集成电路领域良率管理领军企业，东方晶源携产品矩阵亮相大会，向业界全面展现公司在电子束检测量测、芯片制造EDA工具等领域的新产品、新成果、新突破，彰显出以持续创新引领行业发展的技术实力和创新活力。

此次展会上，东方晶源带来了新一代电子束量测和检测设备，包括缺陷复检设备DR-SEM、量测设备CD-SEM、缺陷检测设备EBI以及一款集良率数据、缺陷数据、量测数据收集分析于一体的良率管理系统YieldBook。此外，还带来了计算光刻软件产品——PanGen良率综合优化系统，该产品具有适用于成熟工艺节点的OPC优化功能，同时也是首款具有CPU+GPU混算构架的全芯片反向光刻（ILT）功能的掩模优化工具。

展会期间，仪器信息网有幸采访到了东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司创新技术研究院院长孙伟强，就东方晶源的主要产品、技术优势以及未来半导体行业的发展趋势等话题进行了深入的探讨和分享。

以下是现场采访视频：