SR系列膜厚传感器-颐光科技-新品
导读：近日，武汉颐光科技有限公司在仪器信息网发布SR系列膜厚传感器新品
一、产品概述
SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。
二、产品特点
■ 操作简便、小巧易安装；
■ 高速、高分辨率；
■ 多款定制测头满足多场景需求；
■ 宽光谱涵盖多膜厚需求应用；
■ 适用在线膜厚量测与质量评估；
■ 宽光谱实现多应用场景需求。
三、测量原理
技术参数
*1：用玻璃的折射率1.5计算
*2：用硅的折射率3.67计算
*3：测量500 nmSiO2厚度的1σ
*4：测量厚度大于30µm的Si膜的1σ
创新点：
SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。
来源于：仪器信息网
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