第一轮通知！2024 全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会第五届年会暨第十四届微光刻技术交流会

兹定于 2024年10月27-30日在上海举行“全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会第五届年会暨第十四届微光刻技术交流会”

会议有关事宜通知如下:

一、会议信息:

(一)会议议程:10月27日报到，28-29日安排会议，30日返程

(二)会议地点:上海中兴和泰酒店(上海市浦东新区浦东张江高科科苑路866号)

(三)指导单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会。

(四)主办单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会。

(五)承办单位:上海光源，中国科学院上海高等研究院。

(六)参会人员:

全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会全体委员、代表及国内外微光刻标准化技术的嘉宾和朋友。

(七)第二轮通知将于2024年10月08日发出。

二、会议收费与住宿

1、本届会议不收取会议费用，交通费用及食宿费用自理。

住宿:上海中兴和泰酒店（上海市浦东新区浦东张江高科科苑路 866 号）。

单人间:550元人民币/天/人，标准间:550元人民币/天/2人，(均含双早)。

2、交通信息参考

路线建议-机场:

(1)上海虹桥国际机场--上海中兴和泰酒店

地铁2号线直达:2号航站楼地铁入口--地铁2号线(浦东国际机场方向)--乘坐 17站-张江高科站2出口-中兴和泰酒店，【时长:1小时4分钟，总费用:6元】;

(2)上海浦东国际机场--上海中兴和泰酒店

地铁2号线直达:浦东国际机场站入口--地铁2号线(徐泾东方向)--乘坐 10站-张江高科站2出口-中兴和泰酒店，【时长:58分钟，总费用:5元】;

路线建议-火车站:

(1)虹桥火车站--上海中兴和泰酒店

地铁:虹桥火车站地铁入口--地铁2号线(浦东国际机场方向)--乘坐 18 站-张江高科站2 出口-中兴和泰酒店，【时长:1小时5分钟，总费用:6元】;

(2)上海火车站--上海中兴和泰酒店

地铁:上海火车站地铁入口--地铁4号线内圈(宜山路方向)--乘坐 18 站-张江高科站2出口-中兴和泰酒店，【时长:1小时5分钟，总费用:6元】;

(3)上海南站--上海中兴和泰酒店

地铁:上海南站地铁入口--地铁1号线(富锦路方向)-人民广场站下车 换乘地铁2号线(浦东国际机场方向)--张江高科站2出口-中兴和泰酒店，【时长:1小时3分钟，总费用:5元】;

三、会议联系人

1、标委会秘书处会务组联系人 :

郝美玲:18551384180;semiml@126.com;微信:h85786757

陈宝钦:13661034296;chenbq@ime.ac.cn;微信:chenbg420702

2、上海光源、中国科学院上海高等研究院会务组联系人

李红红:13536512860，lihh@sari.ac.cn;

龙家丽:17717636503;1ongil@sari.ac.cn;微信:wxid 9maiawdpke8122

四、参会回执

请在 2024年9月28日前把回执（文末附件）及申请做报告的文稿题目(欢迎发送电子版PPT 文件)

发至微光刻分技术委员会行政秘书处专用电子邮箱地址:semiml@l26.com并抄送到 chenbg@ime.ac.cn 以便主办方安排会务、住宿及会议资料文集。

附件 第一轮通知附件2-回执参会反馈表2024.7.28.doc