电子级超纯水与普通超纯水的区别

应用领域

电子行业和半导体行业

实验室分析、工业生产或工业清洗

满足国家标准

GB/T11446.1-2013电子级水国家标准

GBT6682-2008分析实验室用水国家标准和GBT33087-2016仪器分析用高纯水规格及试验方法

电子级EW-I和超纯水I级

电阻率≥18MΩ.cm（5%的时间不低于17）

电阻率≥10MΩ.cm

电子级EW-II和超纯水II级

电阻率≥15MΩ.cm（5%的时间不低于13）

电阻率1-10MΩ.cm之间

全硅（ug/L）

电子级I级≤2ppb   电子级I级≤10ppb

I级≤10ppb  II级≤20ppb

微颗粒（个/L）

电子级I级:对各种粒径具有要求，如‌0.2-0.3μm≤50个/L,‌0.3-0.5μm≤20个/L，‌0.5μm以上≤4个/L

不做具体要求

细菌个数（个/ml）

电子级I级≤0.01个  电子级II级≤0.1个

视不同用途，不同的要求，符合客户需求即可

金属离子含量（ppb）

电子级I级：对（铜、锌、镍、钠、钾、铁、铅）都有具体的要求，且要求极高，需要控制到≤0.1ppb或0.5ppb

超纯水I级：只有钠离子≤1ppb有要求，其他无具体要求

非金属离子含量（ppb）

电子级I级：对（氟、氯、亚硝酸根、溴、硝酸根、磷酸根、硫酸根）都有具体的要求，需要控制到≤1ppb

超纯水I级：仅对氯离子有要求需要控制到≤1ppb

TOC值

电子级I级≤20ppb   电子级I级≤100ppb

超纯水I级≤50ppb