卡尔·蔡司在中国收获重磅订单

　　据悉，中芯国际(Semiconductor Manufacturing International Corporation，SMIC)，中国内地最大最先进的晶圆代工厂，也是世界领先的半导体代工厂之一，近日向卡尔·蔡司半导体计量部门(Carl Zeiss Semiconductor Metrology Systems)采购了多套光掩膜检验、维修及测量系统。

　　中芯国际采购的设备包括：蔡司AIMS系统，将用于重要节点的光掩膜检测，基于先进的电子束修复技术的蔡司MeRiT® MG系统，能够支持高级光掩膜修复，将用于修复检测到的缺陷，PROVE®测量设备将配备在于中芯国际的新生产线，用于影像定位测量。这些设备将共同作为实用的光掩膜解决方案投入使用。

　　卡尔·蔡司SMS CEO，Oliver Kienzle博士认为，中国的半导体市场对蔡司来说仍是新兴市场，而此次的订单对卡尔·蔡司是极其重要的。

　　2011-2012财年，卡尔·蔡司的营收达到41.63亿欧元，有2%的增长，其中显微镜、医疗、摄影/天文、工业测量等业务均有可观增长，但半导体计量业务却在持续下滑，而且大幅拖累了整体利润。在远紫外技术及设备上的进展，以及在中国市场的收获，或将成为蔡司半导体计量业务的两个最关键增长点。