用于晶圆级封装的光刻胶去除剂和TSV清洁剂

杜邦的光刻胶去除和硅通孔 （TSV） 清洗配方是我们 EKC 技术产品组合的一部分，经过优化，可通过焊接电镀或钢网印刷有效去除用于 TSV 掩模和晶圆凸块的厚和薄光刻胶。TSV 掩模和 TSV 清洁剂旨在有效去除 TSV 蚀刻后的残留物。

EKC® 162 抗蚀去除剂
EKC® 162 是一种经过优化的配方，可通过焊接电镀或模板印刷有效去除用于 TSV 掩模和晶圆凸块的厚薄光刻胶，具有出色的浴槽寿命和晶圆容量。该产品设计用于喷雾加工设备和湿工作台，能够比竞争对手更快、更低温地去除抗蚀剂。

EKC® 175 抗蚀去除剂
EKC® 175 可完全有效地去除 DRIE TSV 工艺中形成的坚韧的蚀刻后残留物，从而实现无缺陷的通孔填充工艺。

EKC® 830 抗蚀去除剂
EKC® 830 是有效去除存在铝的杜邦 MX5000 系列干膜的理想选择。本产品可用于喷雾加工设备和湿式工作台。