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仪器简介：
技术参数：
主要特点：
应用：
◆半导体、研究所等需要用到晶圆分拣的单位。
技术参数：
Genmark 公司的Sort-Max是一种快速、稳定、洁净的晶圆分拣器。Sort-Max可以适用于100mm~300mm的晶圆或光罩。它的功能包括分拣、检查、lot分离、储存、合并、ID扫描和FOUP平衡等。
主要特点：
◆快速、稳定、洁净；
◆可定制化；
◆吞吐量高；
◆自我调节。
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