北京东方华测科学技术中心设计开发出高性能的XHC-MT30型工业精密测量显微镜,配有大移动范围的测量台、落射照明器、平场无限远长工作距离物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好、测量精确。可进行三维测量,是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、机械精密加工等行业,作为高级工业测量显微镜使用。
测量显微镜型号 XHC-MT30
测量维数 X、Y、Z 三维测量
X-Y轴移动测量范围 100mm×100mm
X-Y坐标数显分辨率 0.001mm
测量功能 调零,方向转换,数据输出,TTL讯号
测量精度 ±1μm
放大倍数 50×、100×、200×、500×、1000×
物镜转换器 可调中心四孔转换器
测量方式 线性编码器 2轴
测量台最大载重 8.0Kg
测量工作台尺寸 290mm ×290mm
测量显微镜是光学计量仪器之一种,它的结构简单,操作方便,适用范围极广
1、直角座标中测定长度,例如已基面距离,刻线宽度,键盘槽宽度,狭缝宽度等等。
2、转动度盘测定角度,例如对刻度盘,样板,量规,钻孔模板及几何形状复杂的零件进行角度测量。
3、用作观察显微镜,以比较法检查工作表面光洁度,鉴定冶金工业的矿石标本。检定印刷照相制版,检验纺织纤维等等。
工业精密测量显微镜应用于高等院校、科研院所、微电子、PCB印刷线路板、半导体硅片检测行业等领域。具有高速、精确、便捷和优异性价比。
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