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考虑到众多预算有限用户对高性能AFM的需求,Park Systems精心设计并推出了XE-70这款经济型高性能AFM。XE-70果断放弃了部分成本较高的调节马达，坚决保留了所有XE系列产品的创新技术，并保证该款机型可与XE系列产品的各种扩展功能组件和选配件完全兼容。
技术参数：
技术参数（机械部分）：
1. XY扫描器：50µm×50µm（闭环），可选配100µm×100 µm（闭环）
2. Z扫描器：12µm (可选配25µm)
3. 水平度：50µm线扫描垂直偏差不超过±1nm
4. XY和Z扫描器的正交性：1.0°
5. 样品台移动范围：25mm×25mm（X/Y），27.5mm (Z)
6. 样品尺寸：100mm×100mm
7. 光学观察：垂直光路设计，可直接观察微悬臂和样品
技术参数（电子部分）
1. 微处理器：600MHz，4800MIPS DSP
2. 模数/数模：16位，500kHz采样频率
3. 图像采集：同步自动采集16幅图像，分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式：采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准
标准工作模式：
真正非接触模式(True non-contact mode)
接触模式(contact mode)
相位模式(phase imaging)
横向力模式(LFM)
扩展工作模式：
力测量（Force measurements）
导电（Conductive AFM）
电力（Electric Force）
电子 (Electrical)
磁性 (Magnetical)
机械 (Mechanical)
热 (Thermal)
主要特点：
一、计量精确
XE系列AFM彻底消除了球面误差，因而具备了实现精确纳米计量的能力。
二、扫描器线形度高，直角正交
XE系列AFM采用了柔性扫描器最大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合，并且通过位移传感器及时进行反馈控制，这就有效保证了扫描的准确度和精度。
三、非接触式扫描
可真正实现非接触式扫描是Park AFM最显著的技术优势。采用这一模式扫描时，针尖和样品间距可以保持在几个纳米，在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。
四、CrN样品测试结果
CrN样品具有点状尖锐的特点，是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描，10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中，扫描100次后图像细节依然清晰，证明针尖没有受到损伤。
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