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是德科技5600LS AFM是独一无二的、高精度、大样品台原子力显微镜。它也可与STM扫描器配合使用，既可以在空气环境中对大样品进行高精度的成像扫描，又可以在液态环境下（温度可控），对小型样品进行高精度成像。它配有200mm的真空吸盘，样品直径尺寸最大可至8英寸，厚度可达30mm。根据需要，5600LS AFM也可安装12英寸硅片。
优势
• 方便的适用于8英寸或12英寸的样品
• 实现原子级的分辨率
• 极其的自动化设计，使用非常简单
• 样品台纳米级的步进精度，且全闭环控制
• 重复定位精度极高
• 特殊的设计，能提供超小的热漂水平
应用
• 电子材料
• 半导体材料
• 数据存储材料
• 材料科学
• 聚合物科学
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大样品台AFM在半导体工业的应用
半导体 2015-12-16
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