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产品特点:
◆自动光学缩放与聚焦,使用简单方便 ◆大范围内准确定位,分辨率优于2μm ◆150mm 真空吸盘(标准),可安装6 英寸晶片 ◆可提供8 英寸的夹具,以适应更大的样品尺寸
应用领域:
应用在半导体如Si 晶片、器件数据存储材料如CDs、DVDs、硬盘等领域
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dahua1981
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