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多功能平台聚焦扫描微区X射线光电子能谱仪

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品牌

暂无

型号

PHI15000VersaProbe

产地

亚洲日本

应用领域

暂无
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产品介绍:
•产品名称:多功能平台聚焦扫描微区X射线光电子能谱仪
•产品型号:PHI15000VersaProbe
•品    牌:日美纳米表面分析仪器公司(U-P)
•产    地:日本
 
产品参数:
•仪器主机功能,单色化Al Kα ;
•大面积XPS ;
•Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM≤1.00eV时,灵敏度≥1,000,000 cps;
•Ag3d5/2,1400umx100um, FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥250,000 cps;
•小面积XPS,最小分析面积≤10μm ,性能指标应达到:
•Ag3d5/2,20μm,FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥15,000 cps;
•Ag3d5/2,10μm,FWHM≤0.60eV时,灵敏度≥4,000 cps;
•Ag3d5/2,10μm,FWHM≤1.00eV时,灵敏度≥12,000 cps;
•Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree ;
•75degree ;
•Ag3d5/2,20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥99kcps ;
•Ag3d5/2,100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥47kcps ;
•45degree ;
•Ag3d5/2,20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥50kcps ;
•Ag3d5/2,100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥27kcps ;
•成像XPS ;
•单色化X射线扫描成像,最佳空间分辨率≤10 μm;
•深度剖析XPS ;
•聚焦扫描氩离子枪,当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm,当
working distance为60mm时候,聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2;
 
产品特点:
•世界上独一无二扫描微聚焦X-射线source;
•世界上独一无二扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像,可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。;
•可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上;
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