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仪器简介：
IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe）,自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测.
技术参数：
应用：
• 终点检测（End Point Detection）
• 靶的纯度鉴定
• 质量控制/ SPC.
• 残余气体分析
• 泄漏监测
主要特点：
特点：
• 高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
• 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu
• 差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室
• 离子光学器件，带能量分析器和内置离子源
• Penning规和互锁装置，以提供过压保护
• 数据系统与过程控制工具整合
• 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)
• 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯
IMP离子蚀刻探针（Ion Milling Probe）,自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测（End Point Detection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测.
技术参数：
应用：
• 终点检测（End Point Detection）
• 靶的纯度鉴定
• 质量控制/ SPC.
• 残余气体分析
• 泄漏监测
主要特点：
特点：
• 高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
• 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu
• 差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室
• 离子光学器件，带能量分析器和内置离子源
• Penning规和互锁装置，以提供过压保护
• 数据系统与过程控制工具整合
• 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)
• 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯
等离子体刻蚀终点检测仪信息由北京英格海德分析技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子体刻蚀终点检测仪报价、型号、参数等信息，北京英格海德客服电话：400-860-5168转0702，欢迎来电或留言咨询。
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