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特种气体微量杂质分析(HCl/SiH4/CF4等)
产品展示：
仪器配置：
FPD + 气体进样系统 + SF6切换反吹系统 + 色谱柱系统、网络化电控系统、内置工作站
*参数：
1、检测器指标
| 火焰光度检测器(FPD) |
灵敏度(检测限) | ≤5.0×10-11g/s(正十六烷) |
基线噪音 | ≤0.1mv |
基线漂移 | ≤ 0.5mv/0.5h |
2、温度控制
温度范围：室温以上8℃-400℃
温控精度：±0.5%
程序阶数：8阶
程升速率：0-39℃/min(调节增量0.1℃/min)
程序升温重复性：≤1％
标气实测谱图
标气：SO2F2(硫酰氟):28ppm; S2OF2(亚硫酰氟):40ppm; S2OF10(十氟一氧化二硫):33ppm余：SF6(六氟化硫）
仪器特点：
1.全微机控制系统，电脑反控一台电脑可控制N（N≦253）台色谱仪，具有六路温度控制系统；四路时间程序系统。
2.色谱仪采用10/100M以太网通讯接口，可以实现对仪器的远程控制和远程数据传输处理及监管。可连接到单位主管及上级主管，便于主管实行监管。
3.数字信号输出（内置色谱工作站）,信号网线直接输出。
4.大容量柱箱带自动后开门，可进行8阶程序升温；近室温控制功能（室温以上8℃）。
5.具有故障自我诊断功能，可显示故障部位及性质；具有超温保护功能，*一路温度超过设定温度，均会自动停止加热。
1年
是
有
可多人次
1年
1年保修 终身维护
48小时到达现场
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