DJ MicroLaminates成立于二零零九年,以销售电子光刻胶材料技术,并提供产品开发,工艺开发服务和市场开发活动。由DJ MicroLaminates开发的产品有针对性的技术,以满足先进的MEMS制造和晶圆级封装的需求。
DJ MicroLaminates目前开发的光刻胶干膜(TDFS),是层压板预切晶圆或基板尺寸。
SUEX TDFS
是感光厚环氧树脂片,应用于晶圆级封装和MEMS。该片材由两个被剥离的聚酯薄膜保护层(PET)中间包含的阳离子固化改性环氧树脂的光阻构成。环氧树脂的光阻中含有无锑的光酸生成剂,并在一个严格控制的无溶剂的过程中制备,它能提供均已的涂层。该方法应用于负性光阻的开发,该种光阻对在350-400nm的范围内的紫外线辐射敏感。
DJ MicroLaminates提供的产品是SUEX, SUEX Plus,以及ADEX系列的环氧树脂负性光刻胶干膜,厚度范围在5微米至超过1mm内。干膜很容易层压在基板表面,并可在几分钟内预备使用。
SUEX适合并且与以下物质有良好的粘合性:硅,氮化硅,铜,金,玻璃,聚合物和其它金属和氧化物。
标准厚度:
100um,150um,200um,250um,350um,500um,650um,750um和1mm
一般储存温度:
使用之前,应在21℃至25℃温度中存放15-18小时,这样为最佳效果,并易于加工。
SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻胶
1)总处理时间:小于5分钟
2)卓越的厚度均匀性,边缘无光
3)高热稳定性-高韧性
4)无锑化学环境,无材料浪费
选择干膜的优势
1)无需昂贵的匀胶和烘胶设备
2)对Fab环境要求较低
3)整片晶圆上厚度均匀
4)无需去边工艺
5)100%平坦化(真空压膜)
6)胶膜内部成份分布均匀
7)适合UV和X射线曝光
8)高透过率
9)生产过程中减少了溶剂使用
10)绿色环保
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