Johnsen Ultravac公司在三代同步辐射光源产品设计制造与测试领域已积累了近20年的专业经验,其同步辐射系列产品具有以下特点。
· 在满足三代同步辐射光源大辐射量所带来的高技术要求的同时,能够保持较简单的设计。因此JUV的元件更加经久耐用,在增加了系统操作的安全可靠性同时,降低了长期的维护成本,并大幅度减少了标准元件成本以及后期升费用。
· JUV对其产品线保持着持续的更新改良。例如,在完成APS批基于 “曲棍球棒设计”的光阀订单后,JUV在此基础上进一步开发了一款更加耐用的外置水冷可移动型光闸。
· JUV的解决方案技术成熟且行之有效的,能够确保加速器系统的运行具有故障导向安全机制。
JUV单色仪模块的核心是平面镜-平面衍射光栅扫描单元。这种模块是针对软X射线能量区间设计的,适合应用于对高热负荷,能量分辨率和调校稳定性有很高要求的三代同步辐射光源光束线。平面镜-平面衍射光栅平面镜-平面衍射光栅(PGM)的扫描机械构造包括两个固定轴旋转扫描仪,均能通过外部的线性步阶立控制平面镜和光栅的旋转。
单色仪色每次动作的准确度和可重复性多于0.4 μrad. 这样的多次运动的分辨率和可重复性足够瞒住10000分辨能力。当然具体细节取决于实际光束线的设计。这些限制适用于光能范围在75~2000eV的应用,并可向两端扩展。同时JUV可以做针对于不同扫描范围的单色扫描单元改造。另外也可以实现其他诸如平面镜- 球面光栅单色仪,变间隙光栅单色仪等单色光学设计。
平面镜技术参数
基体:内水冷钎焊组件。
材料:Si,硅。
物理尺寸:450(长)*80(宽)*75(厚)mm.
冷却:,划线平板上加工有4组各8通道,共32通道。通道长宽分别为5mm 和1mm. 热壁厚度为1.5mm.
通光孔径:420mm*70mm
抛光面斜率误差(RMS)(以硬质Ni层):
切向(较长边):0.5µrad.
径向(较短边): 10µrad
微粗糙度(RMS): 0.5nm
光学涂层:鉑; 60nm+/-5nm.
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光栅技术参数
基体:内水冷钎焊组件。
材料:Glidcop纳米氧化铝颗粒增强铜基复合材料。
物理尺寸:168(长)*78(宽)*50(厚)mm.
冷却:,8通道,共32通道。3.1mm(宽)*9.6mm(高),. 热壁厚度为~4mm.
通光孔径:158mm*66mm
抛光面斜率误差(RMS)(以硬质Ni层):
切向(较长边):1µrad.
径向(较短边): 15µrad
微粗糙度(RMS): 0.8nm
三种延短边走向的条形沟槽图案,平行准确率在0.5mrad以内。
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光栅样式I |
光栅样式II |
光栅样式III |
有效面见 |
158mm*20mm |
158mm*20mm |
158mm*20mm |
沟槽密度 |
1250 线/mm/-5% |
500线/mm/-5% |
250线/mm/-5% |
沟槽均匀度 |
小于10^-4 |
小于10^-4 |
小于10^-4 |
沟槽分布 |
薄片lamella |
薄片 lamella |
薄片 lamella |
深度 |
6nm+/-0.8nm |
14nm+/-1.5nm |
30nm+/-3.0nm |
地宽()到槽周期比率 |
40%+/-5%(槽底宽度 ~500nm, 槽宽度 ~333nm) |
30%+/-10%(groove 槽底 ~1400nm, 槽底(地) ~600nm) |
35%+/-3%(槽底(地) ~2600nm, 槽 ~1400nm) |
涂层 |
金 50nm+/-5nm |
金 50nm+/-5nm |
镍 50nm+/-5nm |
反光镜与光栅扫描单元
2套立内水冷系统。水温稳定度:0.1度。
平面镜冷却水消耗:2G/min.
光栅冷却水消耗:1.5G/min.
平面镜冷却水压差:65psi
光栅冷却水压差:50psi
分辨能力不低于4000。
光学线性编码器(4µ period, 50倍分割)
大角分辨率:0.1µrad.误差<0.4µrad。
扫描角:0.5~5度
中心位置:2.5度
光栅扫描角:-0.5~7度。
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控制系统和运转
· 3台Parker OS21A-DNFL-YRE Size 23型步进电机,带有旋转编码器。微步阶能力,75V直流电压,3A输出。
· 光镜光栅角运动线性测量系统:两台光学Heidenhain 的带有IBV650数字化单元的LF481 150mm尺。
· 可为数字化单元,I/O单元,TTL脉冲额外提供5V直流电源。
· 保护设备:校定的水流开关,真空控制器,立烘焙系统。
· JUV可以提供完整的控制系统和相应软件,或者立部件用于启动测试和验收测试。
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具体技术细节请下载,Johnsen Ultravac Monochromator datasheet
· 前罩和固定罩配件(Pre-mask and Fixed Mask Assemblies) · 光束定位监视器(Beam Position Monitors) · 光闸(Photon Shutters) · 刃口配件(Knife Edge Slit Assemblies) · 轫致辐射铅准直仪(Bremsstrahlung Lead Collimators) · 轫致辐射钨准直仪(Bremsstrahlung Tungsten Collimators) · 波荡器白光H&V可动罩配件(Undulator White Beam H & V Moveable Mask assemblies) · 轫致辐射安全阀(Bremsstrahlung Safety Shutters) · 出口罩配件(Exit Mask Assemblies) · 整合阀和管束阻断装置 (Integral Shutters and Beam Stops) · 单色折合阀部件(Mono Integral Shutter Assemblies) · 滤镜附件(Filter Assemblies) · 光束隙配件(Beam Slit Assemblies) · 白光屏蔽传输管配件(White Beam Shielded Transport Pipe Assemblies) · 互联管道和腔体 (Interconnecting Spools and Chambers) · 软X射线吸收装置(Soft X-ray Absorbers) · 双多层单色仪(Double Multi Layer Monochromators) · 平面衍射光栅单色仪(Plane Grating Monochromators) · 包含变量的角单色仪(Variable Included Angle Monochromators) · 晶体嵌入配件(Crystal Mount Assemblies) · 光束线实验站(Experimental Beamline stations) · 插入件,上下游过度箱(Insertion Device – Up and Downstream Transition Boxes) |
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Johnsen Ultravac公司同时能够提供整套FE部件设计和制造。JUV 的FE设计通过简单调整,可以满足立(Single) FE和倾角(Canted) FE的不同需要,能够适合不同ID的特定接受角。以下为Johnsen Ultravac 设计的前端案例之一。
客户 |
产品 |
加拿大光源中心 Can Light Source (CLS) |
前端组件, 超高真空腔体,平面衍射光栅单色仪,操控器等 |
美国 Argonne National Lab/Advance Photon Source (APS) |
前端组件, 5年里99分订单 |
美国Advanced Light Source @ Lawrence Berkeley Nat Lab |
单色仪系列产品,光阀,前端组件,插入件 |
英国 Diamond Light Source |
带有电子束加热,样品传送系统的5轴液氦冷却超高真空设备 |
意大利的Elettra同步辐射中心 |
带有样品传送系统的4/6轴液氦/液氮冷却超高真空设备 |
法国 Synchrotron Soleil |
带有样品传送系统的4/5轴液氦冷却超高真空设备 |
台湾同步辐射研究中心 |
超高真空三维操作系统, 超高真空腔体 |
韩国Pohang Light Source |
变包含角平面光栅单色仪 |
美国 National Synchrotron Light Source-II |
前端组件,单色仪 |
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