仪器对比
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配置了空气净化1000级和100级的两类超净化学实验室，总面积500多平方米。拥有目前国内外最先进的仪器设备，如下表（仪器指标详见仪器介绍）：
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生产厂家 |
仪器名称 |
仪器型号 |
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Thermo Fisher |
高分辨电感耦合等离子质谱 |
Element 2 |
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Dionex |
离子色谱 |
ICS3000 |
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Aglient |
气质联用仪 |
7890A/5975C |
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PerkinElmer |
石墨炉原子吸收分光光度计 |
AA600 |
其中高分辨电感耦合等离子质谱和化学处理实验室置于100级超净实验室，离子色谱、气质联用仪、石墨炉原子吸收分光光度计置于100级超净实验室。使用的无机酸试剂经过进口亚沸蒸馏装置提纯，安装有Millipore纯水装置，制备的去离子水电阻率>18.2 MΩ•cm ，所用前处理器皿均为国内外最先进的PFA材质的试验分析器皿，满足微量、痕量元素分析前期样品制备的需要。
实验室检测人员均有多年的超净实验室和半导体行业工作经验，拥有研究生以上学历工作人员2名，我们将以精湛的专业技术，快速精确的检测结果，竭诚为客户提供周到细致的检测服务。
检测项目
1. 超纯水检测
检测范围包括周期表中绝大部分元素和各种阴离子等项目
2. 超纯试剂检测
检测范围包括周期表中绝大部分金属元素、非金属元素等项目
3. 超净区域环境检测
检测范围包括超净区域空气中阴离子，金属元素、非金属元素有机化合物等
4. 半导体行业晶圆和多晶硅检测
检测范围包括晶圆表面各种金属和非金属检测，多晶硅中杂质成分检测等。
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