一. 产品简介
本产品主要用于镀膜样品的清洗,等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:
(1) 无机气体被激发到等离子态。
(2) 气相物质被吸附在固体表面。
(3) 被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子。
(4) 产物分子解析形成气相。
(5) 反应残余物脱离表面。
二. 技术参数
(1) 清洗舱尺寸:Ø100× 270mm
(2) 射频频率: 40KHz
(3) 射频功率: 150W
(4) 电 源: ~220V
(5) 电 流: 1.2A
(6) 外形尺寸: 450X450X200mm
(7) 整机重量: 15Kg
(8) 真空泵配置:2XZ-1型真空泵