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-0.03nm（带宽：1kHz）
-50mm*50mm*20mm
-20mm*20mm
仪器简介:
测量结果的准确程度对科研工作者来说是至关重要的。为了更好的服务于科学界，Park推出了这款全世界最准确的NX-10型原子力显微镜。该仪器具备高速的伺服响应能力，超高的扫描器线性度，极低的闭环检测器噪声水平，和最小的系统热漂移量。作为一款界面友好，操作简单的仪器，NX-10会成为新老用户的好伙伴。
技术参数：
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围50μm*50μm（可选10μm*10μm ，100μm*100μm）
平面偏移度:<2nm（全量程扫描）
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围15μm（可选30μm）
定位检测噪声：0.03nm（带宽：1kHz）
共振频率：>9kHz
表面成像噪声：<0.03nm（标准值 0.02nm）
样品台
样品尺寸： 50mm*50mm*20mm
样品重量：最大500g
样品台移动范围：20mm*20mm
主要特点：
一、准确成像， 无交叉耦合现象
?业界领先的XYZ轴线性度，样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动
?最低的平面偏移度，全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米
?垂直扫描器全程伸缩时，线性度优于0.015%
?优化水平扫描器Ringing现象，科学的正向sine-scan算法
二、准确扫描，真正的非接触模式
?业界领先的垂直扫描器，带宽超过9kHz，垂直伺服响应速度超过62mm/s
?非接触模式下最快的扫描速度
?极低的探针磨损，能够保证长时间的高质量扫描
?极低的样品损伤
三、准确测量，真正的样品形貌
?采用业界领先的低噪声检测器测量样品形貌
?业界领先的极小正反测量偏离量，小于0.15%
?采用优化的散热部件，极大地降低了系统热票移和迟滞现象
?功能强大的先进隔音罩，舱体内部主地控温
四、用户工作效率
?开放式的设计，方便更换探针和样品
?探针预定位装夹设计，简单便键的测量激光调节过程，具有专利的自上主下
五、直视光路系统
?创新的“十秒进针”功能，探针可自动高速完成进针操作
?24位数字电控箱，三组内置锁存放大楼，具备Q-control和弹性常数校准准功能
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