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能量色散型微区X射线荧光光谱仪 μEDX系列，可以高灵敏度地分析很小的样品。对于需要高分辨率同时高X射线强度才能进行测定的电子部件、电路板以及材料中的异物等微小局部的测定，本装置可进行高灵敏度、高分辨率，分析直径最小至50μm的分析。
技术参数
11Na ~ 92U （μEDX-1300型）
13AL ~ 92U （μEDX-1400型）
技术参数
- 测定原理 X射线荧光分析法
- 测定方法 能量色散型
- 测定对象 固体、液体、粉体
- 样品形状 最大150mm× 150mm× 40mmH
- X射线管 Rh靶
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检测器 Si（Li）半导体检测器（μEDX-1200/1300型）
Si漂移半导体检测器（μEDX-1400型）
11Na ~ 92U （μEDX-1300型）
13AL ~ 92U （μEDX-1400型）
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