Plasma-Therm工艺设备PECVD / HDPCVD
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Plasma-Therm是致力于PECVD/HDPCVD/RIE/ICP/DSE的世界知名设备提供商， 产品涵盖2”~ 12”主流干法刻蚀/PECVD工艺，广泛应用于半导体、MEMS、三五族(GaAs / SiC / CPV)、LED、SOI及半导体后段TSV领域
仪器简介：
2”~12” 手动 / 半自动 / 全自动(片盒对片盒)
领域 : 半导体前后段 / MEMS / 三五族(GaAs / SiC / CPV) / LED / SOI / TSV
制程 : PECVD / HDPCVD / RIE / ICP / DSE
特点:
Plasma-Therm公司有将近40年研发及制造干法刻蚀/PECVD设备的历史
Plasma-Therm设备具有高稳定性与高可靠度
Plasma-Therm自有的软硬件设计及完善QC系统
Plasma-Therm设备配置灵活，包含手动、半自动、全自动(片盒对片盒)型号满足实验室研发及量产客户需求
Plasma-Therm设备在行业内高占有率：目前世界范围内装机数量超过1600台
Plasma-Therm PECVD设备：具有良好的uniformity(3%)和温度控制技术
Plasma-Therm RIE / ICP设备：具有高刻蚀速率，低损伤, 良好的温度均匀性控制(独有的整个反应腔陶瓷加热技术)，方便的腔体清洁技术以及灵敏的刻蚀断点监测技术
Plasma-Therm DES设备：应用于MEMS及TSV领域，主要用于高深宽比刻蚀, morphing技术确保侧壁的profile的精确控制,快速气体切换技术（专利）确保刻蚀的侧壁平滑，独有的压力控制技术（专利），高灵敏的刻蚀断点监测技术
Plasma-Therm连续15年被VLSI评为10 Best设备供应商
应用领域：
半导体：
三五族(GaAs / SiC / CPV)
MEMS / SOI
LED
半导体后段及TSV
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