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| Ovation VHF電源系統 |
| Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案，能夠實現更快、更精確的製程過程，如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下，為非 50-ohm 環境供電，反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能，最大限度地減小了離子蝕刻損傷，從而提高了薄膜品質和良品率。 |
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