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多位晶圆四探针测试仪
应用：
结合jandel公司生产的四探针探头对晶片的电阻率进行测量
主要特点：
可简单预设待测晶片上1到25个测量位置
2 8英寸/6英寸晶片真空吸盘
带有电流开关的杠杆操作探头，可避免产生火花
定位精度小于±1mm
幻灯片精准度不高测量区域
遮盖待测区域，消除光电干扰
技术指标 | |
8”型号表 | 具有真空卡槽、定心凹槽，镊子切口的硬铝合金 |
晶片尺寸 | Φ=5”/6”/8” |
预设测量位置 | 中心点；垂直直径四个点，32, 38, 50, 57, 68, 94mm 晶片 1/2 R 距边缘6mm 5” 32mm 57mm 6” 38mm 68mm 8” 50mm 94mm |
6”号晶片尺寸 | Φ=3”/4”/5”/6” |
预设测量位置 | 中心点；垂直直径四个点，15，20，25，35，50，60mm |
可配 | 真空线路、真空泵 |
外形尺寸 | 355mm x 215mm x 195mm（H） |
净重 | 6”:3.5kg 8”:4.0kg |
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