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特点
§ 高级型号仪器，具有常见的所有功能
§ 射线激发量的灵活性最大，激发量可根据测量面积大小和光谱组成而改变
§ 通过硅漂移探测器，在 > 10万cps（每秒计数率）的超高信号量下也可以正常工作，而不会出现能量分辨率的降低
§ 极低的检测下限和出色的测量重复度
§ 带有快速、可编程 XY 工作台的自动测量设备
§ 大容量便于操作的测量舱
典型应用领域
§ 测量极薄的镀层，例如应用于电子和半导体行业中
§ 痕量分析，例如根据 RoHS、玩具标准、包装标准对有害物质进行检测
§ 进行高精度的黄金和贵金属分析
§ 光伏产业
§ 测量 NiP 镀层的厚度和成分
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