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具有和V2000系统同样的设计质量和组件,但是V6000制造更加小型化,它是适用于各大学和研究所的理想工具。现有以下可选配件:
.500mm(直径) x 600mm(高) 的不锈钢内腔,具有前道打开的门和满室屏蔽
.干/湿第一级泵(依据具体应用)
.用于高真空级别的涡轮或低温泵
.石英晶体率及厚度控制
.离子辅助沉积和基材清洁
.溅射
.电子束蒸发
.行星基材旋转机构
.基材加热及冷却
.全系统自动化
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