低温真空探针台

报价 ¥10万 - 50万

品牌

MSTECH

型号

M5VC

产地

亚洲其他国家

应用领域

暂无
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半自动

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仪器简介:

 真空腔体探针台通过改变温度,光纤,气体,弯曲样品台....等条件在位进行控制和测试多种参数(IV,CV,RF,Impedance)

 

-液氮(-190度~80K)

-氦(-262度~10K)

-气体:N2,Ar,NH3,O2,H2。。。(MFC 10通道 或更多)

-光纤(250~1200nm波长)

-高温(~1000度)

-弯曲样品台:弯曲半径:~80度

-RF:~67GHz

 

主要应用:广泛用于半导体、微电子,OLED....的科研和开发。



提供探针台部件,包括:长工作距离显微镜、防震桌、屏蔽箱、探针座及各种探针、高温卡盘、探针卡、RF探头、适配器、线缆;
 

主要参数:

-主腔室:270dia

-卡盘(chuck) : 70mm 镀金或陶瓷材料,

-低漏电流:<1fA

-真空:1*10-3Torr(可升级到-6torr)

-可视窗口:100mm石英(带有暗盖)

-温度范围可选:液氮,氦.....

-X/Y样品台:分辨率1um

-显微镜&CCD Camera:CCD聚焦:400x~1000x(单个物镜)

-防震桌

....

 

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