半自动
样本下载仪器简介:
真空腔体探针台通过改变温度,光纤,气体,弯曲样品台....等条件在位进行控制和测试多种参数(IV,CV,RF,Impedance)
-液氮(-190度~80K)
-氦(-262度~10K)
-气体:N2,Ar,NH3,O2,H2。。。(MFC 10通道 或更多)
-光纤(250~1200nm波长)
-高温(~1000度)
-弯曲样品台:弯曲半径:~80度
-RF:~67GHz
主要应用:广泛用于半导体、微电子,OLED....的科研和开发。
提供探针台部件,包括:长工作距离显微镜、防震桌、屏蔽箱、探针座及各种探针、高温卡盘、探针卡、RF探头、适配器、线缆;
主要参数:
-主腔室:270dia
-卡盘(chuck) : 70mm 镀金或陶瓷材料,
-低漏电流:<1fA
-真空:1*10-3Torr(可升级到-6torr)
-可视窗口:100mm石英(带有暗盖)
-温度范围可选:液氮,氦.....
-X/Y样品台:分辨率1um
-显微镜&CCD Camera:CCD聚焦:400x~1000x(单个物镜)
-防震桌
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