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316L不锈钢结构，适用于腐蚀性气体
产品概述
Alicat的MS系列数字式质量流量计可精确、快速测量腐蚀性气体(如：NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力和温度。MCS系列质量流量控制器通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程气体的质量流量、体积流量和压力。
MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器的核心部件是Alicat专利的层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat质量流量计&质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
MS/MCS系列质量流量计/质量流量控制器采用全不锈钢结构及弹性密封材料，内置34至36种标准气体供选择。集成式多功能数字显示屏允许用户通过显示屏按钮操作便可进行气体切换、设定值输入及PID阀门调节。MS/MCS系列设备支持标准的模拟通讯和RS-232数字通讯模式，另有各类定制化选项供特殊项目需求，如：用于危险环境的ATEX(欧洲)1类2区和CSA(美国)1类2区认证产品等。另有便携式(MBS系列)质量流量计可选。
产品应用
Alicat的MS/MCS系列数字式质量流量计/质量流量控制器为腐蚀性过程气体应用的首选，如：半导体行业等。多变量测量与控制、多气体标定以及100:1量程可调比使得仅用一台MS/MCS系列质量流量计/质量流量控制器便可取代多台设备发挥的功效。最高可达0.4%的精度、0.2%重复性及不到100毫秒的控制响应时间最大程度优化了气体控制过程。
MS/MCS质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0-0.5 sccm到0-3000 slpm的满量程的任何流量。
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