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适用于真空应用的质量流量控制器
产品概述
艾里卡特MCE系列数字式质量流量控制器可精确控制过程气体的质量流量、体积流量和压力，功能与匹配性与其它品牌无异，依照SEMI国际标准，将后置式高速比例控制阀置于流量本体内。
艾里卡特MCV系列数字式质量流量控制器适用于高真空应用， 在MCE后增加一个集成式正向切断阀，其氦气泄漏率仅为1x10-9 atm-scc/s，有效地杜绝了污染物进入。
艾里卡特MCE & MCV系列质量流量控制器采用专利的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。艾里卡特提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
艾里卡特MCE & MCV系列质量流量控制器带有集成式多功能数字显示屏，用户仅通过屏幕按钮操作便可控制设定值及PID阀门调节。最高可达0.4%的精度、0.2%的重复性及不到100毫秒的控制响应时间最大程度优化了气体控制过程，同时开放模拟通讯和RS-232数字通讯模式。另有各类定制化选项供特殊项目需求，如：用于危险环境的ATEX(欧洲)1类2区和CSA(美国)1类2区认证产品等。
产品应用
艾里卡特MCE & MCV系列质量流量控制器(真空型)广泛应用于须遵守SEMI标准的应用，如：半导体、真空镀膜等。MCE系列质量流量控制器尤其适用于低真空应用，MCV系列则适用高真空。多变量测量与控制、多种气体标定以及200:1量程可调比使得仅用一台艾里卡特质量流量控制器便可取代多台设备的功效。
MCE & MCV质量流量控制器(真空型)可测量与控制从0-0.5 sccm到0-20 slpm的满量程的任何流量。
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