R&D Cluster tools 研发用团簇

报价 ¥5万 - 10万

综合评分暂无

品牌

MVSystems

型号

Cluster

产地

美洲美国

应用领域

暂无

上海瞬渺光电技术有限公司

营业执照已认证

铜牌会员
第11年
一般经销商

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产品详情

R&D Cluster tools 研发用团簇PECVD PVD

R&D Cluster tools

Cluster tool w/ 8 port locations

具有8个腔室的团簇型沉积系统

30x40cm substrate

衬底尺寸为30x40cm

Computer controlled

可完全由电脑程序控制操作运行

?PECVD, HWCVD and Sputter capability 制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积，及溅射。

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