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可控气氛热处理系统

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品牌

nanoCVD

型号

t:vac

产地

欧洲英国

应用领域

暂无
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Moorfield联合集团于1989年创立于英国柴郡,专注于纳米科技超过25年,是欧洲知名的真空科技产品制造商。 现在,Moorfield发展为一家为科研领域提供从真空零部件,物理气相沉积系统,化学气相沉积系统及各类真空设备比如热处理系统,真空手套箱产品,也是欧洲唯一一家所有真空主要零部件都是自生产的专业供应商,并为其他真空厂家提供关键部件比如Edwards。虽然提供整套真空组合产品已经取得显著成功,不过这种专业理念至今仍是企业的核心目标。


有效公司架构和高研发投入使得公司公司一直保持着业内镀膜技术的领先和价格维护优势。今天,Moorfield依然和英国知名的科研课题组共同设计研发以保持市场一个强有力的价值竞争优势。感谢公司得到一个积极的发展计划,并得到英国相关科研政府支持,Moorfield联合集团可以继续升级扩展其供应真空产品的性能和范围。


售后客户支持服务也是Moorfield产品的优势所在,我们将利用英国工厂强大的技术力量和全方位支持以及我司积极的售后响应来竭诚为国内用户服务。

 

 

t:VAC是在可控真空,注入气氛,反应气氛条件下样品高温处理整套流程系统(包括快速加热,钎焊,退火),可应用于:

 

半导体加工处理

铜铟镓硒CIGS热处理、退火

材料钎焊,烧结和退火

氢气氛退火

氮气氛退火


 











t:VAC系统中的加热器组件有多种形状和尺寸以便适应不同的样品类型,加热组件有多种耐不同温度的广泛材料和在适合不同气氛中加热:

 镍铬合金NiCr: 最高可到1000 °C, 成本低, 可用在真空环境,注入气氛,和氧化气氛环境

高密度石墨HDG: 注入气氛环境中可超过2000 °C, 真空环境中可到1800 °C,  和氧化气氛环境中可达到500 °C

碳-碳复合材料CCC: 类似于HDG,不过性能更强更稳定耐用

t:VAC也提供加热组件涂层加工以加强其性能如减少加热放气和颗粒污染,和有效避免元素氧化,镀膜涂层加工应用包括:

热解石墨PG: 覆盖密封元件表面放置加热放气,颗粒污染和促进更好的真空度

玻璃态石墨: 镀膜涂层可减少颗粒污染,不过不能完全密封元件孔隙

碳化硅SiC : 电绝缘(可以避免由于导电沉积引起的短路) ,给予抗氧化性能到1400 °C

热解氮化硼PBN : 覆盖密封孔隙,氧气反应气氛中稳定度可到900 °C ,在注入气氛或真空环境中稳定度可到2000 °C 。


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