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技术参数：
大范围高精度扫描探针显微镜 安捷伦5500LS
Specifications
Stage
- Standard vacuum chuck size: 150 mm
- Sample thickness: up to 35 mm
- Examination area: 150 mm x 150 mm
- Fully motorized, controlled optics
- Optical resolution: 2 μm
Compatibility
- Compatible with Agilent 5 series family
of products and all AC modes
- Compatible with multi-purpose scanners
- Compatible with CSAFM, STM, and EFM/MFM
- Compatible with imaging in air and fluids, including but not limited to life sciences,
electrochemistry, and corrosion applications
- Compatible with temperature control (-30oC to 250oC)
S c a n n e rs
Large Scanner
- Scanning range: 100 μm x 100 μm
- Z range: 7 μm
- Vertical noise: 0.5Å RMS
Small Scanner
- Scanning range: 10 μm x 10 μm
- Z range: 2 μm
- Vertical noise:<0.1Å RMS
主要特点：
安捷伦大样品台原子力显微镜可以快速、准确地实现针尖定位和样品定位。高精度的马达驱动能帮助您自动准确定位到您感兴趣的区域，同时带有记忆功能，可以自动迅速而准确地回到原来每个样品表面成像的位置，便于进行更多的深入研究。同时5500LS能很好地满足大样品在空气、液体和温度控制下成像。
优势
* 自动的光学缩放与聚焦，使用简单方便
* 大范围内准确定位，分辨率优于2µm
* 150mm真空吸盘（标准），可安放6英寸晶片
* 可提供8英寸大夹具的选件，以适应更大的样品尺寸
应用
* 半导体：Si晶片、器件
* 数据存储材料：CDs、DVDs、硬盘等等
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