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日本力世科（RHESCN)薄膜吸附强度测试仪CSR-2000
CSR-2000仪器简介：
基于JIS R-3255标准，以MICO SCRARCH法评价光学薄膜、半导体扩散工程、表面改质以及记忆媒体等各种用途的薄膜与基材，或薄膜与界面之间的密着力（附着强度）的超薄膜附着强度测试仪，CSR-2000是成膜研究与测试所必备的测试仪器。
原子化（分子化）的膜材料到达基材表面成型时，与基材表面原子的结合数会直接影响膜的密着强度。这个结合数受分子的能量状态。基板的清洗状态等的影响，在与成膜有关的研究开发管理工程中，可使用本设备进行密着强度的评价。
以往的划痕测试仪，摩擦膜表面造成破坏点时，依靠摩擦力的变化及音响信号等来评价密着强度。但是，膜厚在微米级以下的薄膜的破坏点很难检测出来。为了解决这个问题，采用高感度的能够检测出薄膜破坏的MICO SCRARCH法，测试纳米级别的薄膜的附着强度。
最适合检测液晶显示屏的透明电极膜、光学薄膜，DLC，磁盘的保护膜等的附着强度。
功能特点：
具有直线增加荷重的控制功能，在镜头等的曲面上也能进行精确测试。
可以进行以特定荷重来评价的特定荷重测定。
基于信号的FFT分析功能，高感度进行剥离测试。
测试部位的选定及测试后的划伤观察简单易行。
完成一次测试只需1-2分钟的时间。
与小型硬度计等薄膜物性测试仪相比，能够在普通的操作台上进行测试。
能进行JIS R-3255标准（以剥离为基板的薄膜附着性测试方法）的测试。
技术参数：
| 荷重检出装置 | 荷重印加范围 | 1mN～1000mN |
| 荷重分辨率 | 0.2mN | |
| 允许过负荷 | 300%FS | |
| 摩擦力检出装置 | 速度信号输出 | 1mV |
| 频率量程 | 20Hz～10kHz | |
| 励振频率 | 45Hz | |
| 励振振幅 | 0,5,10,20,40,50,80,100um | |
| 触针材质 | 金刚石 | |
| 触针形状 | R5，10，15，25，50，100um | |
| Z轴驱动装置 | 驱动分辨率 | 0.5um |
| 驱动速度 | 0.1～10um/sec | |
| X轴驱动装置 | 驱动范围 | 20mm |
| 驱动分辨率 | 0.5um | |
| 驱动速度 | 0～20um/sec | |
| Y轴驱动装置 | 驱动范围 | ±6.5mm |
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