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很多工业原料是以颗粒的形式存在的,诸如化学和生化催化剂,固态电池,医药材料,化妆品以及橡胶、纸张、塑料和食物中的添加剂等只是其中的部分例子。通过表面ALD镀膜,这些颗粒的电学、光学、物理以及化学性质都可以被改善,甚至完全改性。相比传统的湿化学方法,ALD镀膜进行表面改性具有环保的优点。
PICOFLOAT™颗粒镀膜系统中,颗粒将以连续运动方式存在于腔体中,每个颗粒上都会被均匀地镀上纳米级别的薄膜,PICOFLOAT™系统兼容所有的新旧型号PICOSUN™ALD反应器。
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