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工业用飞秒激光加工设备
所属类别： ? 激光加工系统 ? 飞秒激光加工系统
所属品牌：立陶宛WOP公司
产品简介
工业用飞秒激光加工设备FemtoFAB是WOP专门为工业应用而设计的飞秒激光加工系统，它根据特定的飞秒激光微加工应用选定配置然后进行精密组装，应用领域包括任意合适材料激光切割，激光划线，激光打孔和3D激光铣削（峰值功率超过2,4GW）。飞秒激光微加工设备FemtoFAB提供激光同步运动控制及/或综合扫描振镜系统，可以满足多种不同工业微加工应用的速度精度参数需求。
关键词：激光微加工系统，飞秒激光微加工系统，激光精密加工，飞秒激光加工，激光超精密加工，激光加工机床，飞秒激光加工机床，激光切割，激光划线，激光打孔，激光铣削，激光加工，FemtoFAB,Workshop of photonics , Femtosecond Laser Machine
工业用飞秒激光加工设备(FemtoFAB)
工业用飞秒激光加工设备FemtoFAB是WOP专门为工业应用而设计的飞秒激光加工系统，它根据特定的飞秒激光微加工应用选定配置然后进行精密组装，应用领域包括任意合适材料激光切割，激光划线，激光打孔和3D激光铣削（峰值功率超过2,4GW）。飞秒激光微加工设备FemtoFAB提供激光同步运动控制及/或综合扫描振镜系统，可以满足多种不同工业微加工应用的速度精度参数需求。系统通过SCA工程软件控制，并拥有4个1级激光安全防护罩用以防护系统安全。
主要运行特性 | |||
试样特性 | 材料 | 任何固体材料，液体聚合物 | |
尺寸(mm) | 150*150*150 | ||
光束整形和控制 | 脉冲选择器 | 集成，自动控制 | |
扫描振镜 | 扫描速度 | 达到10m/s | |
扫描场(mm) | 5*5（4F光学系统） | ||
聚焦光学元件 | 焦距(mm) | 高数值孔径非球面透镜或物镜 | |
1.45—18.4 | |||
空间光调制器 | 像素 | 1920*1080 | |
面板尺寸(mm) | 15.36*8.64 | ||
寻址 | 16bit | ||
操作方式 | 反射式 | ||
定位 | 类型 | XYZ，直线电机，十字轴承，空气轴承 | |
处理速度(mm/s)(max.) | 350 | ||
工作区域(mm) | 160*160 | ||
分辨率(nm) | 1 | ||
定位精度(nm) | ±300 | ||
重复性(nm) | ±50 | ||
位置稳定性(nm) | 3 | ||
样品架 | 真空吸盘 | ||
激光器参数 | 激光介质 | Yb:KGW | |
波长 | 1028nm±5nm | ||
功率(W) | 4,6,8,10 | ||
振荡器输出功率(W) | 0.7—1.5 | ||
脉冲能量(max.,mJ) | 1 | ||
重频(kHz) | 200，600，1000 | ||
脉宽 | <200fs-10ps(可调)；<80fs(振荡器) | ||
光束质量参数 | M2<1.2 | ||
输出脉冲稳定性 | <1%RMS | ||
谐波发生器 | 谐波 | SH(515nm),TH(343nm),FH(258nm) | |
转换效率(@200kHz) | >50%(SH)；>30%(TH)；>10%(FH) | ||
软件控制应用功能 | 光束功率控制 | 激光输出；机械衰减器 | |
定位平台控制 | 2.5D微加工；3D XYZ指令 | ||
控制界面 | 算法窗口，虚拟或GUI控制杆 | ||
图形与矢量格式 | *.bmp，*.plt | ||
高速度
高可靠度工业级飞秒激光系统拥有76MHz振荡输出和达到1MHz放大输出的脉冲重频，并且和Aerotech线性定位平台以及扫描振镜协调同步，在高速无熔微加工中能够表现出明显的优势。
纳米级分辨率
高分辨率目标定位系统（Aerotech XYZ线性平台）与激光光束位置控制器（扫描振镜）以及激光脉冲选择器协调同步控制空间，时间和能量区域，使系统可以亚微米分辨率下加工难处理物体。
Machine vision机器视觉
机器视觉系统由和Aerotech线性定位平台同步，并为整个系统提供视觉的高分辨率CCD相机组成，能够使系统获取物体的位置，形状或任一特征并对激光光束进行相应地调整。
SCA工程自动化软件
系统控制应用程序（SCA）是WOP为便于控制激光微加工过程而研发的原创软件。
SCA将所有硬件设备整合进单一软件程序中，并制作了整体解决方案，并且最终用户使用时可以将无关的设备控制程序去除。
l 非机器语言设计
l 直观的用户界面
l WYSIWYG (What You See Is What You Get) 轨迹预览
l HPGL支持 – 标准打印控制语言
l 支持 .bmp，.dxf，.stl 文件格式
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