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冷场发射
1.2nm@30KV
底片倍率：10 – 600,000x显示器倍率：18 – 1,000,000x （800x600像素）
0.1 – 30kV
3.0nm@15KV
产品介绍：
日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点，不仅具有强大的观察分析能力，同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作者对高分辨观察和分析的需求，也满足了电镜初学者对高质量图片的需求，是一台操作简便且功能强大的扫描电镜。
主要特点：
? 高稳定性热场发射电子枪
? 全新的EM Wizard软件，无需设置参数即可获得高质量图片
? 高分辨率和强大的分析能力
? 样品适用性强：不导电样品直接观察（低真空功能，10-300Pa）
? 全新的multi-finder功能，方便快捷的寻找样品
? 附件功能强大：拉伸台，冷热台，电子束曝光，红外CCD，离子束清洁系统等。
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