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MLI-200/500/1000
主要特点 优点
刚性设计 可靠性高
电晕预电离技术 光斑能量分布均匀
固态集成电路 可直接使用，无老化现象
先进的激光腔技术 全金属密封腔
激光腔的寿命长达几十亿次脉冲
能量监控 能量稳定
紧凑型结构，占用空间小， 操作方便,易于集成
单相供电
技术参数
气体介质 | ArF | ArF | ArF | KrF | KrF | KrF |
波长（nm） | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
最大重复频率（Hz） | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
稳定单脉冲能量（mJ） | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
稳定单脉冲功率（W） | 1.2 | 3.0 | 6.0 | 2.0 | 5.0 | 10 |
能量稳定性（sigma，%） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
光班尺寸（FWHM,V*H mm） | 6*3 | 6*3 | 6*3 | 6*3 | 6*3 | 6*3 |
光束发散角（FWHM,V*H mrad） | 2*1 | 2*1 | 2*1 | 2*1 | 2*1 | 2*1 |
脉冲宽度（FWHM）（ns） | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
动态气体寿命 1000Hz，能量稳定于4mJ，ArF
常规物理参数
重量 约75kg
制冷方式 风冷
供电要求 230V，50/60Hz，最大需求功率2000W
尺寸（L*W*H） 560*315*445mm
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