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伯东日本离子蚀刻机

报价 ¥100万 - 150万

品牌

暂无

型号

10-M/NS-5

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

离子蚀刻机 10-M/NS-5
上海伯东日本NS进口离子蚀刻机 10-M/NS-5,适合小规模生产使用和实验室研究用的离子刻蚀机
离子蚀刻机 10-M/NS-5 主要技术参数:

基片尺寸

直径 6英寸 X 1片

样品台

直接冷却,单独冷却

离子源

10cm 考夫曼离子源

电源

WELL-2000(可更换为国内电源


离子蚀刻机

上海伯东是日本NS离子蚀刻机中国总代理,NS离子蚀刻机对磁性材料、黄金、铂和合金金属提供最佳蚀刻技术,很容易做各种材料的蚀刻,主要应用于薄膜磁头 (Thin film Magnetic Head),自旋电子学 (Spintronics),MR Sencer,微电子机械系统 (MEMS Micro-electromechanical Systems),射频设备 (RF Devices),光学组件 (Optical Component),超导电性 (Super Conductivity)等。可依据客户实际需要,提供客制化服务。


NS离子蚀刻机主要优点:

  • 干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。

  • 物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。

  • 配置使用美国考夫曼公司制造的原装离子源。

  • 射频角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。

  • 基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。

  • 配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。

  • 机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。

上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵干式真空泵罗茨真空泵旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计氦质谱检漏仪质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源美国 HVA 真空阀门Polycold 冷冻机离子刻蚀机等。

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伯东日本离子蚀刻机信息由伯东公司德国普发真空pfeiffer为您提供,如您想了解更多关于伯东日本离子蚀刻机报价、型号、参数等信息,上海伯东客服电话:400-860-5168转0727,欢迎来电或留言咨询。

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