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HOLITH界面光刻技术----“纳米压印友好伴侣”
HOLITH界面光刻装置使用两束干涉激光在光界面上形成周
期性光栅和点/孔图案。 HOLITH纳米成像系统具有新型力
学，光学和电学设计，可在200nm-2μm的周期性范围内于4
英寸晶片上做出纳米结构图案，图案最小形貌可低50nm。
最先进的HOLITH专利技术可使用户仅通过简单的鼠标点击操
作便能作出100nm以下尺寸的高品质高均一性线性光栅和
2D/3D图像。在HOLITH界面光刻装置中无需使用遮罩和模
具。
优势：
· 无遮罩过程：低成本、多功能、可伸缩
· 计算机系程序自动化光学结构和排列控制
· 简单操作，无需光学培训
· 相比遮罩定位器系统成本更低
· 200nm范围内具有高分辨率
· 最低特征尺寸小于50nm
· 无需遮罩及模具
· 可以制作大面积2D/3D纳米压印模具（4/6英寸）
· 可以操作不平整晶片
· 周期精度：<+-2.5%
· All-fiber-optic setup replacing free-
space optical components
laser · Fiber-optic beam splitter splits the laser beam into two coherent beams spatial filtering interference pattern 低成本、不受环境因素干扰，使自动化成为可能：自由改变入射角度调整模式周期。 Holith 纳米图案化结构
· Special optical fiber delivers light from
· Output port of the fiber performs
· Close-loop feedback control stabilizing
应用：
能源
· 太阳能电池抗反射结构
· 太阳能电池光子操纵
· LEDs灯管中的光提取
· 图案化蓝宝石基板(PSS)
光学器件
· 1-D和2-D光栅光谱
· 大范围等离子体结构
· 光子晶体
· 超颖表面
· 高对比度光栅过滤器和反射器
· 亚波长和衍射光学器件
·计量光栅
·结构化的颜色
材 料
· 超疏水/亲水表面
· 诱导自组装
· 表面增强拉曼荧光
· 生物医学传感器
纳米装配
·纳米压印磨具装配
·先进纳米装配过程开发
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