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压电响应力原子力（PFM）是在原子力显微镜（AFM）的基础上，用导电探针在压电材料上进行测试，得到纳米尺度的压电场机压电分布。具有分辨率高，扫描速度快等特点。
PFM可以应用到如下领域：
1.铁电材料。
2.半导体材料
3.生物材料
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