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NanoFocus μsprint topographer是一个独立的桌面3D测量系统。机台上的X.Y轴和3D传感器可以提供必不可少的高精度数据采集的稳定性。μsprint设备包含有控制柜、电子设备和PC,还可以根据客户的需求进行定制,如自动放置sample的自动机械手。μsprint软件提供多种扫描和数据分析的功能。通过共聚焦显微镜相结合的μsprint专利原理,真正的3D信息与史无前列的测量速度和记录分析的高准确性。μsprint多通道3D传感器, 采集数据的预处理,同时每个通道实时监测到的峰高度并保存测量的峰值强度,因为它代表了表面反射率。从所有途径获取的数据由多通道μsprint的传感器每秒运作8000次,它的运作类似于线检查相机。正因为传感器的高采样率,可以以高速移动的物体或传感器,从而可以在很短的时间内进行大面积扫描。所有采集的高度和强度数据被合并成一个3D地形图像和强度图像。
n 应用
1.电子设备:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件
2.半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计
3.医疗:模具表面检测
4.金属/力学:测试金属摩擦大面积表面
5.钢铁:检测轧辊钢棍在处理前后的表面形貌
6.玻璃/光学:大面积的透镜表面形貌
7.纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量
n 技术参数
1,原理:多通道、非接触、共聚焦
2,信道数:128
3,采样率(每通道):8000 s-1
4,外形尺寸 (LxHxW):260 x 194 x 99 mm
5,工作距离:0.5-30 mm
6,高度范围:100μm- 2.5 mm
7,扫描宽度:435 μm - 2.5 mm
8,扫描深度:8 - 200 mm/s
9,Z方向的分辨率:0.05-13 μm
10,x,y方向分辨率:3.4-17 μm
11,光斑直径:1 μm
12,电源:110/230 V AC, 15 W
13,激光二极管的波长:830 nm
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
无锡TDK | 2013-10-23 |
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