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Si/SiO2/Ta/Cu薄膜

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品牌

合肥科晶

型号

Si/SiO2/Ta/Cu薄膜

产地

美洲美国

应用领域

暂无

 

产品名称

Si/SiO2/Ta/Cu薄膜?(进口?Cu?Epi?Film?Coated?on?Ta/SiO2/Si?Wafer)

技术参数:

Cu<111>参数:100nm400nm(highly?oriented?poly-crystalline?Cu)

Ta厚度:20-50nm (Ta diffusion barrier)

Si/SiO2参数:<100>  P型掺B;300nmSiO2;R:1-20ohm-cm;单抛Si/SiO2尺寸:dia 4inch x 0.525mm

表面粗糙度:As grown

 

产品尺寸:

dia4 inch or 10x10mm

 

标准包装

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒

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