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产品名称:
Si+SiO2+Si3N4薄膜(进口料)
常规尺寸:
dia 50.8±0.5 mm x 0.250 ±0.025 mm
备注:
可按照客户要求镀膜50-1000nm;
标准包装:
技术参数:
1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装
薄膜厚度:
双面镀300nmSiO250nmSi3N4
研究级别:
about 80 % useful area
生长方法:
在1000℃干氧法
折射率:
- 1.455
Si参数:
<100>±0.5°;P型掺B ;R:0.01-0.1 ohm-cm,
抛光:
双面抛光
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