半自动
1、总体规格
尺寸:650mmW*650mmD*1500mmH;
自重:280Kg;
2、结构特点
(1) 真空腔体:真空可达10-4Pa。留有2个用户法兰接口。
(2)探针控制:标配4个探针臂,可扩展至6个。调节范围20mm*35mm*20mm,调节精度优于10mm。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆。
(3)显微镜模块:变倍单筒显微镜,总放大倍数:14X~90X,分辨率优于5mm。500万像素数字摄像头,50W超高亮度氙灯冷光源。
(4)变温样品台:变温范围:80K~350K(可定制高温版本)。控温精度优于0.1K,温度稳定性优于0.05K。
(5)可接入光纤,可将一根或几根电学探针替换为光纤探针。
3、真空泵组、控温仪型号根据用户需求配置
相关产品