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PM6精密研磨&抛光系统
PM6精密研磨&抛光系统是带有一个工作站的台式机，适用于科学研究和小规模生产的研磨和抛光设备，能够完成4英寸及以下尺寸样品的处理。加工出来的样品具有高一致性、高规格水平、高面光洁度等特点。超高精度的磨盘协同直观的控制系统，为产出超高精度、高一致性的样品提供了保障。
具体功能特点如下：
完善的控制系统
无论是对何种材料表面平整度控制的需求，在半导体、光电、光学以及地质应用领域，PM6系列机型都是值得信赖的选择。典型的应用包括：晶片背减、地质薄片制备、光学器件制备、激光棒抛光、MEMS等。
PM6系统通过创新的设计和直观的操作控制，突出了工艺过程性能，例如研磨和抛光选项与带有蓝牙功能磨头和平整度测试规相结合。研磨/抛光的所有功能和操作均通过触摸式电脑操作界面进行，一个完整的菜单设置和工艺选项清晰显示屏幕上，使得工艺存储及调用操作更为便捷。
PM6系统提供实时数据反馈与绘制功能，可存储和导出目标材料的去除率和修盘的去除率。配有USB接口，方便数据导出、导入与分析。研磨/抛光盘的速度（5-100rmp）也可以通过操作界面设置和控制。用户可以从操作界面对夹具摆臂进行控制。
自动化功能的增强
带有蓝牙功能的夹具，可以预先设置去除量，当达到预先设定的去除量时，PM6主机将接收相应信号并自动停机。当操作员离开时，也可以安全而无人值守运行的过程。另外，机器运行中计时器开始工作，在无人看管时可以设定计时器，在处理材料完成时机器会被停止，控制系统会在向操作员发出提醒。
PM6系统还带有蓝牙实时平整度监测功能和PP系列夹具末位厚度检测等功能。
PM6系统设有辅助驱动夹具摆臂，加快研磨抛光速率，提高精度和工艺重复性。
为了更容易方便用户使用，PM6机器提供完整的真空系统。Logitech的全套工艺和耗材为用户带来便捷。
直观的操作控制系统
快速、高效的研磨/抛光盘，便于拆卸，方便用户在不同的研磨和抛光过程之间的快速转换。这种灵活性使PM6系统成为实验室空间有限的情况下的首选。
主机整体防腐蚀设计，如制作砷化镓、磷化铟等使用的化学抛光液抛光液，PM6系统可以在酸性环境下工作。
精准的滴料系统
自动滴料系统可以精准的控制磨料滴在研磨盘或抛光盘上。磨料桶容量2L，可满长时间的使用，还可根据样品情况配置双磨料桶，进行多步?处理。当磨料桶空时， IR传感器滴料监测器自动停止盘的旋转，从而避免样品的损坏。
此外，增加了DI水枪，不必从夹具上取出样品，就可以完成清洗工作。
自动修盘装置
PM6系列可用于自动修盘装置，实时监测盘形状发生的变化，并根据设定盘形自动进行偏差校正。该附加功能消除了在处理前对盘进行修正和保持盘平整度在+/-1微米内的要求。盘形可以调整到平、凹或者凸。蓝牙功能支持主机与自动自动修盘装置的无缝连接，大大提高了操作性。
电源 | 220-240v 10A 110v 10A 50-60Hz |
夹具类型 | PP5(×1),pp6(×1) |
盘速 | 5-100rmp |
盘尺寸 (直径) | 300mm |
高度 (包括出口) | 915mm 965mm |
深度 | 720mm |
宽度 | 802mm |
重量 (不包括气泵等) | 127Kg |
平整度测试规 (支持蓝牙功能) | 0.1 Micron Resolution |
磨料桶 | 配备2×2L 料筒和监测流量的气泵1-100ml/min |
自动填料系统 | 蠕动泵 1-100ml/min |
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