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0.01mm以下
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<5nm
Akribis-air智能研磨抛光机，具有高度自动化的独立系统，提供了终极工艺创新，在短时间内可实现最高水平的处理。
Akribis-Air智能研磨抛光机功能：
盘面平整度控制
夹具自动设置
动态负荷控制
增加控制参数
实时数据收集和反馈
计量磨料供应
自动清洗功能
单工作站系统配有400mm的盘，速度为100rpm。当使用LOFITECH的动态负载控制的新智能夹具系统，在广泛的应用程序中提供快速、可靠和高度准确的结果。LOFITECH的空气驱动智能夹具可用于100毫米和150毫米晶圆处理。
Akribis-air智能研磨抛光机典型应用:
硅集成电路、太阳能和波导
III-V族化合物稀释和抛光
蓝宝石和发光二极管
碳化硅光学,发光二极管和电力电子
氮化镓-光学仪器、激光、射频高频
Logitech Akribis-Air智能研磨抛光机信息由北京华沛智同科技发展有限公司为您提供，如您想了解更多关于Logitech Akribis-Air智能研磨抛光机报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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