一种新型的Mems测试模式
MCP Mems测试平台是一种用于微电子机械系统的新概念实验室仪器,他可以用来精确地表征电容式Mems静态和动态的电气及机械特性,共振频率可达500Khz. 给你直接提供Mems的真实行为基本信息,例如共振频率,品质因子,残余电容,吸合电压,释放电压。 通过软件,其他一些期间参数也可以被提取出来,例如静电软化,机械偏移,过度蚀刻,机械非线性等。可以针对客户需要定制专门的测试流程。 所有这些这需要一台仪器就可以实现。 MCP测试平台最初设计是用于Mems惯性器件测试如加速度计和陀螺仪,但它也可以被用来测试其他一些器件比如磁力计,微镜,麦克风,压力传感器和其他一些Mems器件。
产品特点:
品牌:Itmems
10Ff-100pF电容测量范围;
<1fF rms 电容检测分辨率;
超过130kHz动态电容变化量;
1mV-40mV驱动电压;
“In-operation”特性描述;
压敏电阻检测(可选)
测试能力
测试模式:单端和差分
残余电容
静态电容变化;
不同静电下激励下的动态电容变化 (正弦,方波,三角等其它波形激励)
不同外部同步压力下的动态电容变化(电容,加速度,角度矢量等);
频率扫描
直接参数提取 (无需用户提供其他数据)
电容偏移 (对于差分结构的Mems)
吸合电压和释放电压;
固有/本征频率;
品质因子
波特图;
间接测试 (用户需提供一些Mems数据)
机械偏移 (对于差分结构的Mems)
表面电荷;
陀螺仪的正交性误差;
断裂强度和杨氏模量的评估
附着力及表面接触老化。
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