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激光干涉薄厚测量仪
所属类别： ? 光学/激光测量设备 ? 偏振态测量仪
所属品牌：韩国Nanobase公司
产品简介
Xper-IP激光干涉膜厚测量仪
Xper-IP是基于Nanobase公司特有的光谱干涉技术的一款膜厚测量仪，是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量设备。Xper-IP可用于测量各种材料（如各种薄膜，镀膜，显示面板等）的绝对厚度。
薄膜测厚仪，激光干涉仪，膜厚测量仪，激光干涉薄膜测量系统
韩国Nanobase公司是一家专注于激光和光谱测量领域的高科技公司，旗下有多种产品，包括拉曼光谱成像系统，OCT光学相干断层扫描系统，可调谐激光器和激光干涉薄厚测量仪。
Xper-IP正是基于Nanobase特有的光谱干涉技术的一款膜厚测量仪，是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量设备。Xper-IP可用于测量各种材料（如各种薄膜，镀膜，显示面板等）的绝对厚度，产品具有以下特点：
绝对精度 ±0.2 %
重复准度 ±0.003 %
超宽测量范围 10 mm to 1 mm
人性化软件，易于使用
性价比高
同时测量多层膜厚
结构坚固，适用于实验室和工业环境
参数
型号 | Xper-ITP（激光干涉测厚） | Xper-ISP（激光干涉测表面形貌） |
测量范围 | 100-1000微米，200-2000微米，(或者定制波长范围，与光谱仪分辨率成反比) | |
准确度 | ±0.2 % | |
重复性 | 单点：0.01% full range（<100nm） 平均：0.003% full range（<30nm） | |
速度 | 激光：标准30pps，（最大100，000pps） | |
光源 | 激光：SLD(840nm) | |
应用领域
半导体，太阳能，SiC Coat, Si Coat, Polished Si, Optical disk
平板显示，Cell gap, Glass thickness, DLC, Highfunction film
光学薄膜，医用聚合物材料等，AR film, PET, Coating layer, Coating film, Evaporation film, Functionality film, Acrylic resin, Video head, etc.
测量原理
原理图
示例
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